进行金属表面改性的装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114908335 A (43)申请公布日 2022.08.16 (21)申请号 202110171102.X (22)申请日 2021.02.08 (71)申请人 北京大学口腔医学院 地址 100081 北京市海淀区中关村南大街 22号 (72)发明人 邢海霞　乐迪　潘洁　 (74)专利代理机构 北京中珒知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 11806 专利代理师 王中　张硕 (51)Int.Cl. C23C 16/50 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 (54)发明名称 进行金属表面改性的装置 (57)摘要 本申请公开一种进行金属表面改性的装置， 其包括：箱体，所述箱体包括气体冷却系统、稀有 气体输入系统、废气排出系统和样品放置台；所 述箱体内还设置有隔离发生腔，所述隔离发生腔 分别与所述气体冷却系统和所述废气排出系统 连接；所述样品放置台设置在所述隔离发生腔的 下方，其中所述样品放置台上放置有金属片；所 述隔离发生腔内还具有等离子体放电发生器，所 述稀有气体输入系统与所述等离子体放电发生 器连接，所述等离子体放电发生器用于产生射流 等离子体并喷射到所述金属片的表面。通过本申 请实现了在大气压环境下有效激发等离子体射 A 流，能够诱导液体表面改性剂的激发，在金属表 5 面引入有机活性基团。 3 3 8 0 9 4 1 1 N C CN 114908335 A