一种PECVD设备的微波装置

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116162925 A (43)申请公布日 2023.05.26 (21)申请号 202211718617.8 (22)申请日 2022.12.29 (71)申请人 浙江合特光电有限公司 地址 310000 浙江省杭州市萧山区经济技 术开发区红垦农场萧清大道2826号1 幢 (72)发明人 张群芳　任建强　陶利松　 (74)专利代理机构 北京维正专利代理有限公司 11508 专利代理师 崔颖 (51)Int.Cl. C23C 16/511 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 一种PECVD设备的微波装置 (57)摘要 本申请涉及光伏电池制造设备的领域，尤其 是涉及一种PECVD设备的微波装置，包括位于反 应腔外的微波源、连接于微波源且位于反应腔内 的天线、套设于天线的石英管，石英管紧密插接 有转动连接于反应腔内壁的管套，石英管圆周外 壁紧密贴合有清洗箱，清洗箱内部成型有连通至 石英管圆周外壁处的酸洗室、水洗室和烘干室， 清洗箱设有带动石英管转动的动力电机，使得石 英管不需要很频繁的从反应腔内取出进行清理， 降低PECVD设备整体停机的时长，有助于产能的 提升。 A 5 2 9 2 6 1 6 1 1 N C CN 116162925 A 权　利　要　求　书