镀膜设备

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116162930 A (43)申请公布日 2023.05.26 (21)申请号 202310211036.3 (22)申请日 2023.03.07 (71)申请人 业成科技（成都）有限公司 地址 611731 四川省成都市高新区西区合 作路689号 申请人 业成光电 （深圳）有限公司　 业成光电 （无锡）有限公司　 英特盛科技股份有限公司 (72)发明人 林瓘丞　周宗震　吴景扬　简昆峰　 高维笛　 (74)专利代理机构 华进联合专利商标代理有限 公司 44224 专利代理师 别亚琴 (51)Int.Cl. C23C 26/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图9页 (54)发明名称 镀膜设备 (57)摘要 本申请涉及一种镀膜设备。镀膜设备包括设 备主体、调节组件以及安装部件，调节组件设于 所述设备主体上，安装部件设于所述调节组件， 且用于固定待镀膜产品。所述调节组件被配置为 能够驱使所述安装部件沿第一方向移动，所述第 一方向平行于所述安装部件的厚度方向。本申请 的镀膜设备能够根据待镀膜产品的厚度等参数 调节镀膜间距和镀膜倾角，适用性更广。 A 0 3 9 2 6 1 6 1 1 N C CN 116162930 A 权　利　要　求　书