一种低氧含量合金靶材及其制备方法2025

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118064847 A (43)申请公布日 2024.05.24 (21)申请号 202410394793.3 (22)申请日 2024.04.02 (71)申请人 深圳众诚达应用材料股份有限公司 地址 518132 广东省深圳市光明区公明街 道下村社区第二工业区16号一层 (72)发明人 周贤界　侯宇航　关泽汉　卢晓鹏　 黄勇彪　 (74)专利代理机构 北京正和明知识产权代理事 务所(普通合伙) 11845 专利代理师 李建刚 (51)Int.Cl. C23C 14/34 (2006.01) B22F 3/15 (2006.01) B22F 3/10 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 (54)发明名称 一种低氧含量合金靶材及其制备方法 (57)摘要 本发明涉及合金靶材技术领域，提供了一种 低氧含量合金靶材及其制备方法，包括：制备合 金粉体；将合金粉体和粘结剂进行混合均匀，形 成混合料；将混合料置于模具中进行温等静压成 型，形成素坯；将素坯进行催化脱脂处理，形成预 制体；将预制体进行真空烧结，得到低氧含量合 金靶材。本发明提供的低氧含量合金靶材的制备 方法，通过将合金粉体和粘结剂的混合料进行温 等静压形成素坯，再将素坯进行催化处理，使素 坯中的粘结剂裂解脱除，避免采用高温脱脂导致 金属元素被氧化，可得到低氧含量的预制体，最 后对低氧含量的预制体进行真空烧结，不仅