一种提高非晶WO3薄膜光学透过率的方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116083865 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202211724267.6 (22)申请日 2022.12.30 (71)申请人 常州大学 地址 213100 江苏省常州市武进区湖塘镇 滆湖中路21号 (72)发明人 丁媛媛　张世豪　韩福东　王将　 苏江滨　陈天琪　戴凌　黄子为　 (74)专利代理机构 南京禹为知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 32272 专利代理师 刘峰 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01) C23C 14/58 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 一种提高非晶WO 薄膜光学透过率的方法 3 (57)摘要 本发明公开了一种提高非晶WO 薄膜光学透 3 过率的方法，利用可见光或紫外光充分辐照处理 非晶WO 薄膜，能够有效提高WO 薄膜光学透过 3 3 率，且在提高WO 薄膜的光学透过率、大幅提升样 3 品的透明度的同时其电致变色效率或光学调制 也得到提升，方法简单有效，制备成本低廉，具有 广阔的应用前景。 A 5 6 8 3