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PCT发明

具有可调式气体出口的喷头

2023-06-23 07:31:59 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080012187.0
  • 公开（公告）日：2024-10-11
  • 公开（公告）号：CN113366145A
  • 申请人：朗姆研究公司
摘要：一种沉积工具包括：处理室；沉积基座，其用于支撑该处理室内的衬底，并且用于在该衬底的第一表面上沉积材料层；以及喷头组件，其具有相对于该衬底的第二表面的面板，该喷头的该面板具有多个可调式气体出口，其布置成当该材料层通过沉积基座正沉积于该衬底的第一表面上时分配清扫气体于该衬底的第二表面附近。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113366145 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202080012187.0 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263 代理人 樊英如　张静 (22)申请日 2020.01.15 (51)Int.Cl. (30)优先权数据 C23C 16/455 (2006.01) 62/799,188 2019.01.31 US C23C 16/505 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C23C 16/458 (2006.01) 2021.08.02 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2020/013714 2020.01.15 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/159708 EN 2020.08.06 (71)申请人 朗姆研究公司 地址 美国加利福尼亚州 (72)发明人 詹姆斯 ·F ·李　 维尼什 ·钱德拉斯卡　 马修 ·马德洛　

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