镀膜设备及其镀膜方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117660915 A (43)申请公布日 2024.03.08 (21)申请号 202410149927.5 (22)申请日 2024.02.02 (71)申请人 星弧涂层新材料科技（苏州）股份有 限公司 地址 215122 江苏省苏州市工业园区星华 产业园5号楼 (72)发明人 钱政羽　王冬冬　钱涛　 (74)专利代理机构 南京艾普利德知识产权代理 事务所 (特殊普通合伙) 32297 专利代理师 顾祥安 (51)Int.Cl. C23C 14/56 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图12页 (54)发明名称 镀膜设备及其镀膜方法 (57)摘要 本发明揭示了镀膜设备及其镀膜方法，其中 镀膜设备包括镀膜室和上下料室，上下料室的第 一侧的第一进出口和镀膜室的第二进出口之间 密封连接有插板阀，上下料室与第一侧相对的第 二侧处密封连接有用于安装工件并带动其上的 工件往复移动的上下料轴，上下料轴的第一端伸 入到上下料室内且与第一进出口位置对应；上下 料轴密封连接驱动其沿其轴向往复移动的直线 移动驱动机构，直线移动驱动机构位于上下料室 的外部且可驱动上下料轴的第一端伸入到镀膜 室内。本发明在上下料时，可以在关闭插板阀后， 仅对更小的上下料室进行破真空以进行上下料 A 操作，能够不破坏镀膜室内的真空，更容易进