一种生物基缓蚀剂及其制备方法和应用2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117886784 A (43)申请公布日 2024.04.16 (21)申请号 202310345568.6 C23F 11/14 (2006.01) (22)申请日 2023.04.03 (71)申请人 中原工学院 地址 451191 河南省郑州市新郑双湖经济 技术开发区淮河路1号 (72)发明人 张文静　周婷玉　何淑雅　杭思霖　 董荣康　杜海亮　魏凡丁　李梦炜　 梅润法　易明雪　孔令科　唐双月　 尤宇豪　 (74)专利代理机构 郑州优盾知识产权代理有限 公司 41125 专利代理师 孙诗雨 (51)Int.Cl. C07D 307/52 (2006.01) C07D 307/46 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 (54)发明名称 一种生物基缓蚀剂及其制备方法和应用 (57)摘要 本发明公开了一种生物基缓蚀剂及其制备 方法和应用，本发明提供的生物基缓蚀剂，结构 式如下： 其中，R 为‑C H 或‑C H 。制备方法，包括以下步骤：将 12 25 16 33 5‑羟甲基糠醛溶于二氯甲烷中，加入二氯亚砜， 反应后得到氯代糠醛；将氯代糠醛溶于乙腈中， 加入十二烷基二甲基叔胺或十六烷基二甲基叔 胺，反应后得到目