Ag合金溅射靶
- 申请专利号:CN202080036027.X
- 公开(公告)日:2022-02-25
- 公开(公告)号:CN114096326A
- 申请人:三菱综合材料株式会社
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114096326 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202080036027.X (74)专利代理机构 北京德琦知识产权代理有限 公司 11018 (22)申请日 2020.10.22 代理人 辛雪花 周艳玲 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2020-094256 2020.05.29 JP A99Z 99/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2021.11.15 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/039705 2020.10.22 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/240839 JA 2021.12.02 (71)申请人 三菱综合材料株式会社 地址 日本东京 (72)发明人 林雄二郎 小见山昌三 权利要求书1页 说明书11页 附图5页 (54)发明名称 Ag合金溅射靶 (57)摘要 该Ag合金溅射靶由包含Ge和In的Ag合金构 成,且利用舍