研磨用带盒更换装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114571356 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202110080359.4 (22)申请日 2021.01.21 (30)优先权数据 10-2020-0165483 2020.12.01 KR (71)申请人 HB技术有限公司 地址 韩国忠清南道 (72)发明人 郑道淳　崔荣燮　禹贞济　 (74)专利代理机构 北京弘权知识产权代理有限 公司 11363 专利代理师 郭放　崔春植 (51)Int.Cl. B24B 37/34 (2012.01) B24B 21/18 (2006.01) 权利要求书1页 说明书12页 附图9页 (54)发明名称 研磨用带盒更换装置 (57)摘要 本发明公开一种研磨用带盒更换装置。根据 本发明的一个方面，提供一种研磨用带盒更换装 置，该研磨用带盒更换装置将为了进行研磨而安 装并使用于研磨装置的带盒安装到研磨装置或 从研磨装置分离而更换。 A 6 5 3 1 7 5 4 1 1 N C CN 114571356 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种盒更换装置，其更换用于研磨基板中缺陷的带盒，其特征在于，包括： 托盘，保管使用于研磨之前的带的使用前的带盒或保管使用于研磨之后的带的使用后 的带盒安放于上述托盘； 安放部，为了从上述托盘传送至研