MPCVD装置及其应用2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116970922 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202311033360.7 (22)申请日 2023.08.16 (71)申请人 贵阳学院 地址 550005 贵州省贵阳市龙洞堡见龙洞 路103号 (72)发明人 张文聪　朱铧丞　 (74)专利代理机构 北京云嘉湃富知识产权代理 有限公司 11678 专利代理师 郑启江 (51)Int.Cl. C23C 16/27 (2006.01) C23C 16/511 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 MPCVD装置及其应用 (57)摘要 本发明提供了一种MPCVD装置及其应用，涉 及微波等离子体的技术领域，包括同轴线、放大 同轴线、第一渐变阻抗匹配器、第二渐变阻抗匹 配器、等离子体反应室、基台，以及悬放于内部的 同轴内导体；放大同轴线使同轴线中的TEM模式 转换到放大同轴线中形成稳定的TEM模式 ；第一 渐变阻抗匹配器使放大同轴线中的TEM模式转换 到第一渐变阻抗匹配器腔体内形成TM01模式；等 离子体反应室的腔体能放大并保持TM01模式和 产生TM02模式，形成混合模式使等离子体产生区 域变大。本发明解决了微波等离子体区域小、能 量利用率低，以及金刚石制备尺寸小的问题，达 A 到了操作简单、适用性广，以及产生更均匀和更 2 大面积金刚石薄膜的效果。 2 9 0 7 9 6 1