一种离子刻蚀微调机用挡板装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114566419 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210139068.2 (22)申请日 2022.02.15 (71)申请人 北京精恒工控科技有限公司 地址 101100 北京市通州区宋庄镇草寺村 委会南300米 (72)发明人 廖占武　 (74)专利代理机构 北京方政卫士专利代理事务 所(普通合伙) 16080 专利代理师 王超 (51)Int.Cl. H01J 37/32 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种离子刻蚀微调机用挡板装置 (57)摘要 本发明公开了一种离子刻蚀微调机用挡板 装置，涉及离子刻蚀微调机领域，该离子刻蚀微 调机用挡板装置包括：挡板控制电源，用于控制 高频电压输出；挡板控制数据线，用于将挡板控 制电源输出电压输出给挡板安装控制电路板；挡 板安装控制电路板，用于得电工作时对每路挡板 产生电场，将23Ar离子流停流在挡板处，并随着 真空抽走排出真空室；多路挡板机构，用于隔开 挡板与外界；挡板，用于停放23Ar离子；挡板控制 电源连接挡板控制数据线，与现有技术相比，本 发明的有益效果是：本发明与原有挡板机构相 比，由开关速度从原来的10ms 30ms提高到1ms以 ~ A 内，原有挡板为机械结构，会产生一定的机械磨 9 损，故障率比较高；现有电子挡板不会在产生机 1 4 6 械磨