真空镀膜设备中避免粉尘微粒附着的遮挡装置及组装方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116837340 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310655276.2 (22)申请日 2023.06.02 (71)申请人 安徽越好电子装备有限公司 地址 239050 安徽省滁州市南谯区乌衣镇 双迎路790号3栋 (72)发明人 蔡明慧　娄国明　徐建柱　沈纬徵　 (74)专利代理机构 杭州合信专利代理事务所 (普通合伙) 33337 专利代理师 沈自军 (51)Int.Cl. C23C 14/54 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图10页 (54)发明名称 真空镀膜设备中避免粉尘微粒附着的遮挡 装置及组装方法 (57)摘要 本申请涉及一种真空镀膜设备中避免粉尘 微粒附着的遮挡装置及组装方法，包括 ：主遮挡 组件，包括多块呈矩阵式排列的遮板，每块遮板 的背面均带有沿横向延伸的滑轨，相邻遮板之间 形成沿横向延伸的第一缝隙以及沿纵向延伸的 第二缝隙 ；辅助遮挡组件，设置在所述主遮挡组 件的背侧，包括多个与所述滑轨配合的滑块，用 于遮蔽所述第二缝隙。本申请第一缝隙和第二缝 隙均被遮挡，避免靶材原子微粒直接附着于腔体 的内侧面。本申请形成遮罩的遮板呈矩阵式排 列，降低了对遮板面积的要求，有助于遮板的存 A 放运输和安装。 0 4 3 7 3 8 6 1 1 N C CN 116837340 A 权　利　要　求　书