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PCT发明

真空系统用气阀单元

2023-04-28 09:42:59 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202180002223.X
  • 公开（公告）日：2022-03-11
  • 公开（公告）号：CN114173897A
  • 申请人：维泰克株式会社
摘要：本发明涉及一种真空系统用气阀单元。所述阀单元包括：控制部，其感应外部排气空间的压力并输出电磁阀开/关信号，从而能够主动对排出孔的空气供给及切断进行控制。另外，优选地，所述阀单元设置有多个贯通孔与电磁阀，通过所述控制部可以对各个贯通孔的出口开闭进行控制。例如，可以实现真空生成管路的增设或生成/废除管路的并用等功能。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114173897 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202180002223.X (74)专利代理机构 北京德崇智捷知识产权代理 有限公司 11467 (22)申请日 2021.04.14 代理人 金星 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 10-2020-0074986 2020.06.19 KR A99Z 99/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2021.08.23 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/KR2021/004695 2021.04.14 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/256683 KO 2021.12.23 (71)申请人 维泰克株式会社 地址 韩国釜山市 (72)发明人 赵镐英　 权利要求书2页 说明书6页 附图8页 (54)发明名称 真空系统用气阀单元 (57)摘要 本发明涉及一种真空系统用气阀单元。所述 阀单元包括：控制部，其感应外部排

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