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发明

一种含第IV族金属元素膜的制备方法及其前体组合物2025

2023-12-17 07:33:38 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202311003938.4
  • 公开（公告）日：2025-05-23
  • 公开（公告）号：CN117209545A
  • 申请人：大连恒坤新材料有限公司
摘要：本发明公开了一种含第IV族金属元素的化合物，所述化合物的化学式表示为：(Sn(CH3)3)CpM(NR1R2)3(式I)；在所述化学式I中，M为Ti、Zr或Hf，R1、R2各自独立地为C1‑C4直链或支链烷基；本发明还提供了用于形成膜的前体组合物及含第Ⅳ族金属元素膜的制备方法，所述前提组合物包含第Ⅳ族金属元素的化合物；本发明提供的新型含第Ⅳ族金属元素的化合物，在常温下为液体且具有热稳定性，利用其制备含第Ⅳ族金属元素膜，可以显著提高沉积速率。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117209545 A (43)申请公布日 2023.12.12 (21)申请号 202311003938.4 C07F 7/22 (2006.01) C07F 7/28 (2006.01) (22)申请日 2023.08.10 (71)申请人 大连恒坤新材料有限公司 地址 116600 辽宁省大连市金普新区松木 岛化工园区松源街 (72)发明人 毛鸿超　董岐　李禾禾　 肖楠　 (74)专利代理机构 厦门荔信律和知识产权代理 有限公司 35282 专利代理师 安龙 (51)Int.Cl. C07F 19/00 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) C23C 16/40 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01) C07F 17/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 (54)发明名称 一种含第IV族金属元素膜的制备方法及其 前体组合物 (57)摘要 本发明公开了一种含第IV族金属元素的化 合物，所述化合物的化学式表示为：(Sn(CH ) ) 3 3 1 2

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