一种碳化硅水平外延炉用的气流转换装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116043328 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202310049219.X (22)申请日 2023.02.01 (71)申请人 复旦大学 地址 200433 上海市杨浦区邯郸路220号 (72)发明人 马宏平　郭运铎　 (74)专利代理机构 北京卓胜佰达知识产权代理 有限公司 16026 专利代理师 刘冬梅 (51)Int.Cl. C30B 25/14 (2006.01) C30B 29/36 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种碳化硅水平外延炉用的气流转换装置 (57)摘要 本发明公开一种碳化硅水平外延炉用的气 流转换装置，包括进气机构、初分散机构、孔板组 件；所述进气机构的出气端开设有第一通气孔 ； 所述初分散机构固定安装在所述进气机构的出 气端；所述初分散机构内开设有若干与所述第一 通气孔连通的导气孔组件；所述孔板组件固定安 装在所述初分散机构远离所述第一通气孔的一 端；所述孔板组件用于将所述导气孔组件内的气 流分散后排出；其中，所述第一通气孔、所述导气 孔组件、所述孔板组件的导流方向均与所述进气 机构内气流方向垂直设置。本发明可将水平气流 转换为均匀的垂直气流，解决现有水平外延炉的 A 水平气流导致流场不均匀的缺陷，提高碳化硅外 8 延片的成型质量。 2 3 3 4 0 6 1 1 N C CN 116043328