一种快速固化的纳米压印光刻胶及其制备方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117706871 A (43)申请公布日 2024.03.15 (21)申请号 202410018090.0 (22)申请日 2024.01.05 (71)申请人 青岛天仁微纳科技有限责任公司 地址 266000 山东省青岛市城阳区城阳街 道祥阳路106号青岛未来科技产业园6 号厂房 (72)发明人 冀然　孙玉健　 (74)专利代理机构 山东重诺律师事务所 37228 专利代理师 孙建安 (51)Int.Cl. G03F 7/004 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 (54)发明名称 一种快速固化的纳米压印光刻胶及其制备 方法 (57)摘要 本发明公开了一种快速固化的纳米压印光 刻胶及制备方法。该纳米压印光刻胶包括改性环 氧丙烯酸树脂和光引发剂。本发明通过改性剂与 丙烯酸羟乙酯酯化反应、同时接枝体与丙烯酸羟 乙酯酯化反应得到混合物，再将混合物与环氧植 物油进行交联，之后与扩链剂进行交联得到改性 环氧丙烯酸树脂。改性环氧丙烯酸树脂与光引发 剂在紫外光的作用下制备得到光刻胶。与现有技 术相比，本发明制备的快速固化的纳米压印光刻 胶具备碱溶性好、折光指数高、精度高、热稳定性 好等优点。 A 1 7 8 6 0 7 7 1 1 N C CN 117706871 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.