脆性材料基板的分割机构

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113321410 A (43)申请公布日 2021.08.31 (21)申请号 202110144259.3 (22)申请日 2021.02.02 (30)优先权数据 2020-021441 2020.02.12 JP (71)申请人 三星钻石工业股份有限公司 地址 日本大阪府 (72)发明人 黑川正光　植田光寿　高桥英树　 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 代理人 刘文海 (51)Int.Cl. C03B 33/03 (2006.01) C03B 33/033 (2006.01) C03B 33/037 (2006.01) 权利要求书2页 说明书14页 附图21页 (54)发明名称 脆性材料基板的分割机构 (57)摘要 本发明的课题在于实现与以往相比分割的 自由度较高的脆性材料基板的分割机构。将脆性 材料基板分割的机构具备：固定部，其具有水平 的第一上表面；以及可动部，其在水平面内与固 定部分离而配置，可动部具有：顶板，其具有平坦 的第二上表面，且与固定部一起将脆性材料基板 载置固定；以及四个升降机构，它们沿铅垂方向 立起设置于在俯视下成为矩形的各顶点的位置， 且分别在从下方支承顶板的同时独立地在铅垂 方向上进退自如，通过对四个升降机构各自的升 降动作进行组合，能够使顶板的姿态任意可变。 A 0 1 4 1 2 3 3 1 1 N C CN