1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 化学/冶金
PCT发明

成膜装置及制造方法2024

2024-06-01 07:53:10 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202280068535.5
  • 公开（公告）日：2024-05-28
  • 公开（公告）号：CN118103547A
  • 申请人：信越化学工业株式会社
摘要：本发明是一种成膜装置，具备：雾化部，其使原料溶液雾化而产生雾；载气供给部，其供给载气，所述载气运送由所述雾化部产生的所述雾；以及成膜部，其对由所述载气运送的所述雾进行热处理而进行成膜，其特征在于，所述成膜部具备：成膜室；基板载置部，其设置于所述成膜室的内部；喷嘴，其对所述成膜室的内部供给所述雾；以及排气部，其将废气从所述成膜室的内部排放至外部，所述成膜室的天花板的内表面与所述基板载置部的基板载置面的高度位置的差为0.15cm以上6.05cm以下。由此，提供一种能够通过雾化CVD法形成膜厚的面内均匀性优异的膜的成膜装置。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118103547 A (43)申请公布日 2024.05.28 (21)申请号 202280068535.5 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限 公司 11002 (22)申请日 2022.06.29 专利代理师 蔡飞飞　刘余婷 (30)优先权数据 (51)Int.Cl . 2021-168663 2021.10.14 JP C23C 16/448 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C23C 16/40 (2006.01) 2024.04.10 H01L 21/365 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 H01L 21/368 (2006.01) PCT/JP2022/025998 2022.06.29 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2023/062889 JA 2023.04.20 (71)

最新专利

相关专利