一种柔性均热板及其制备方法2024
- 申请专利号:CN202311335794.2
- 公开(公告)日:2024-09-17
- 公开(公告)号:CN117647128A
- 申请人:西安交通大学
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117647128 A (43)申请公布日 2024.03.05 (21)申请号 202311335794.2 C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/10 (2006.01) (22)申请日 2023.10.16 H01L 23/367 (2006.01) (71)申请人 西安交通大学 H01L 23/473 (2006.01) 地址 710049 陕西省西安市碑林区咸宁西 路28号 (72)发明人 杨小平 姜明朵 张睿涵 赵丽娟 萧涵文 李杰 张永海 魏进家 (74)专利代理机构 北京市诚辉律师事务所 11430 专利代理师 岳东升 金银实 (51)Int.Cl. F28D 15/04 (2006.01) F28F 21/06 (2006.01) F28F 9/007 (2006.01) D01D 5/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 (54)发明名称 一种柔性均热板及其制备方法 (57)摘要 本发明公开了一种柔性