原创力.专利
四点倾斜对准晶片卡盘2025
- 申请专利号：CN202280045063.1
- 公开（公告）日：2025-07-04
- 公开（公告）号：CN117616551A
- 申请人：科磊股份有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117616551 A (43)申请公布日 2024.02.27 (21)申请号 202280045063.1 (74)专利代理机构 北京律盟知识产权代理有限 责任公司 11287 (22)申请日 2022.11.08 专利代理师 刘丽楠 (30)优先权数据 (51)Int.Cl . 63/287,974 2021.12.10 US H01L 21/687 (2006.01) 17/687,044 2022.03.04 US H01L 21/66 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H01L 21/68 (2006.01) 2023.12.25 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2022/049177 2022.11.08 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2023/107223 EN 2023.06.15 (71)申请人 科磊股份有限公司
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