一种附带原料气浓度分层控制功能的单晶金刚石生长设备2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117604630 A (43)申请公布日 2024.02.27 (21)申请号 202311528483.8 (22)申请日 2023.11.16 (71)申请人 上海征世科技股份有限公司 地址 201799 上海市青浦区华浦路500号2 幢西侧 (72)发明人 满卫东　龚闯　 (74)专利代理机构 上海邦德专利代理事务所 (普通合伙) 31312 专利代理师 梁剑 (51)Int.Cl. C30B 25/16 (2006.01) C30B 29/04 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图6页 (54)发明名称 一种附带原料气浓度分层控制功能的单晶 金刚石生长设备 (57)摘要 本发明提供一种附带原料气浓度分层控制 功能的单晶金刚石生长设备，涉及金刚石生长领 域。本发明包括电离室、微波系统、电离筒、控制 器、换热器、供气管道和供料气泵，所述电离筒设 置于电离室内部，所述供料气泵出气口与换热器 底部进气口之间设置有供气结构。本发明中安装 的供气结构不但起到控制原料气在电离筒、换热 器、供料气泵之间循环流动作用，还保证原料气 供给排出平衡，对原料气进行冷却降温；旋转的 散气管和多个流量控制阀配合控制电离筒内部 原料气浓度均匀的分布，而且上部驱动组件控制 A 往复推动组件工作使电离筒进行振动，避免电离 0 筒内部粘黏金刚石导致的金刚石生成质量下降， 3 6 4 保证金刚石生成的质量。 0