一种微泵及其制作方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116677589 A (43)申请公布日 2023.09.01 (21)申请号 202310614261.1 (22)申请日 2023.05.29 (71)申请人 大连理工大学 地址 116024 辽宁省大连市甘井子区凌工 路2号 (72)发明人 王嫣然　薛春东　赵家铭　殷一帆　 覃开蓉　 (74)专利代理机构 辽宁鸿文知识产权代理有限 公司 21102 专利代理师 王海波 (51)Int.Cl. F04B 43/04 (2006.01) B81C 3/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种微泵及其制作方法 (57)摘要 本发明公开了一种微泵及其制作方法。该微 泵包括泵体和外围电源系统。所述泵体包括泵体 上盖和泵体下盖；泵体上盖包括芯片封装层、弹 性膜、弹性膜驱动塞、磁场发生线圈等内部结构， 各部分通过一体化加工方法集成在泵体上盖上； 所述泵体下盖是带有内凹微通道结构的全PDMS 一体化模块；泵体上下盖通过键合固定；电源系 统用以产生电信号，驱动微泵执行器部分。该微 泵组件少、结构简单、由全PDMS材料覆盖，可以解 决目前片上微泵结构复杂、组装困难、气密性差、 耐用性差、难以与其他芯片集成等问题。 A 9 8 5 7 7 6 6 1 1 N C CN 116677589 A 权　利　要　求