一种离子源栅网的加工方法2023

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116716561 A (43)申请公布日 2023.09.08 (21)申请号 202310706231.3 (22)申请日 2023.06.14 (71)申请人 中国电子科技集团公司第四十八研 究所 地址 410111 湖南省长沙市天心区新开铺 路1025号 (72)发明人 袁祖浩　龚俊　李明　李勇　袁伟　 鲁彤　王佳方　 (74)专利代理机构 湖南兆弘专利事务所(普通 合伙) 43008 专利代理师 何文红 (51)Int.Cl. C22F 1/18 (2006.01) C22F 1/02 (2006.01) H01J 37/08 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种离子源栅网的加工方法 (57)摘要 本发明公开了一种离子源栅网的加工方法， 该加工方法包括以下步骤：将钼板材加工成栅 网；在加热速率≥20℃/min的条件，将栅网加热 至1200℃以上进行真空退火处理，完成对栅网的 加工。本发明中，通过将栅网快速升温到1200℃ 以上进行真空退火处理，可将加工成型的栅网再 结晶退火，去除内应力，使栅孔加工变形附近组 织再结晶，以此改善组织结构，增加均匀性，增加 栅网的稳定性 ，最终提高离子源栅网的使用寿 命。进一步的 ，本发明中通过加工前和加工后的 真空退火处理，可改善钼板材的加工性能、力学