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PCT发明

后段主体长度具有减小变形的锭的制备工艺

2023-07-06 10:54:53 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080035184.9
  • 公开（公告）日：2024-12-10
  • 公开（公告）号：CN113825862A
  • 申请人：环球晶圆股份有限公司
摘要：本发明公开一种通过丘克拉斯基(Czochralski)方法生长具有减小的直径偏差的单晶硅锭的方法。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113825862 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202080035184.9 (74)专利代理机构 北京律盟知识产权代理有限 责任公司 11287 (22)申请日 2020.04.03 代理人 江葳 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/832,561 2019.04.11 US C30B 15/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C30B 15/22 (2006.01) 2021.11.11 C30B 29/06 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 C30B 30/04 (2006.01) PCT/US2020/026684 2020.04.03 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/210129 EN 2020.10.

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