一种分子束外延设备液氮循环系统排气管加热装置2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117307861 A (43)申请公布日 2023.12.29 (21)申请号 202311265544.6 (22)申请日 2023.09.27 (71)申请人 新磊半导体科技（苏州）股份有限公 司 地址 215151 江苏省苏州市高新区建林路 666号出口加工区配套工业园28号厂 房 (72)发明人 苏杰　杜全钢　姜炜　冯巍　 (51)Int.Cl. F16L 53/38 (2018.01) F17C 13/00 (2006.01) F17C 13/02 (2006.01) F17C 9/02 (2006.01) C30B 25/02 (2006.01) C23C 16/54 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图6页 (54)发明名称 一种分子束外延设备液氮循环系统排气管 加热装置 (57)摘要 本发明提供一种分子束外延设备液氮循环 系统排气管加热装置，涉及分子束外延生长技术 领域。该装置包括液氮循环系统排气管、第一加 热区、第一过渡区、第二加热区、第二过渡区、第 三加热区、消音罩、液体氮存放容器。第一加热区 包裹着液氮循环系统排气管，与第一过渡区相连 接，第一过渡区与第二加热区相连接，第二加热 区与第二过渡区相连接，第二过渡区与第三加热 区、液体氮存放容器相连接，第三加热区与消音 罩相连接。与现有技术相比，解决了液氮循环系 统工