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发明

调速阀门结构、真空腔室及真空镀膜机

2023-06-25 07:13:22 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202211600718.5
  • 公开（公告）日：2024-10-29
  • 公开（公告）号：CN116288230A
  • 申请人：佛山市博顿光电科技有限公司|||中山市博顿光电科技有限公司
摘要：本申请涉及一种调速阀门结构、真空腔室及真空镀膜机，调速阀门结构包括：真空密封的阀门腔体，设于阀门腔体内的真空阀板，以及设于阀门腔体外部的驱动机构和间接传动装置；阀门腔体上设有抽气口，其中，抽气口两侧面上设有上连接件和下连接件；上连接件用于与真空腔室密封连接，下连接件用于与分子泵密封连接；驱动机构连接间接传动装置，间接传动装置与真空阀板通过非接触方式连接；驱动机构驱动间接传动装置进行运动，间接传动装置以非接触方式驱动真空阀板进行移动，调整抽气口的开度大小；该技术方案具有更高的真空度调整速度，减少了需要真空密封的部件，降低了整体设备的成本，并提升了真空腔室的真空密封效果。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288230 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202211600718.5 C23C 16/52 (2006.01) C23C 16/54 (2006.01) (22)申请日 2022.12.12 C23C 14/54 (2006.01) (71)申请人 佛山市博顿光电科技有限公司 地址 528000 广东省佛山市南海区狮山镇 信息大道南33号力合科技产业中心加 速器项目69栋第三层301单元(住所申 报) 申请人 中山市博顿光电科技有限公司 (72)发明人 蒋毅　刘伟基　冀鸣　易洪波　 陆其彬　赵刚　 (74)专利代理机构 广州市律帆知识产权代理事 务所(普通合伙) 44614 专利代理师 古嘉华 (51)Int.Cl. C23C 14/56 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 (54)发明名称 调速阀门结构、真空腔室及真空镀膜机 (57)摘要 本申请涉及一种调速阀门结构、真空腔室及 真空镀膜机，调速阀门结构包括：真空密封的阀 门腔体，设于阀门腔体内的真空阀板，以及设于 阀门腔体外部的驱动机构和间接传动装

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