生产碳化硅粉料的方法、碳化硅粉料及其应用

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116332183 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202211582777.4 (22)申请日 2022.12.09 (71)申请人 成都中浦科技有限公司 地址 610200 四川省成都市双流区西航港 经济开发区牧华路二段1518号 申请人 东旭科技集团有限公司 (72)发明人 李健　林宏达　宋亚滨　翟虎　 (74)专利代理机构 北京润平知识产权代理有限 公司 11283 专利代理师 欧阳琰 (51)Int.Cl. C01B 32/984 (2017.01) H01L 29/16 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 (54)发明名称 生产碳化硅粉料的方法、碳化硅粉料及其应 用 (57)摘要 本发明涉及碳化硅制备技术领域，公开了生 产碳化硅粉料的方法、碳化硅粉料及其应用。该 方法包括：将原料进行第一合成反应 ；在惰性气 体的存在下，将第一合成反应的产物进行第二合 成反应；其中，原料由混合料A和混合料B沿垂直 方向依次层叠堆积而得，混合料A和混合料B中均 含有硅粉和碳粉；混合料A的层数与混合料B的层 数相同且不小于1；混合料A的硅碳摩尔比大于1： 1；混合料B的硅碳摩尔比小于1：1；混合料A和混 合料B的用量使得原料的硅碳摩尔比等于1 ：1‑ 1.03。该方法能够避免反应前期硅碳上下分层， A 使得混合料在反应过程中层与层之间再次反应 3 混合，达