一种应用于极紫外光刻机的吸气材料及其制备方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117889671 A (43)申请公布日 2024.04.16 (21)申请号 202311791343.X (22)申请日 2023.12.25 (71)申请人 南京华东电子真空材料有限公司 地址 210034 江苏省南京市栖霞经济开发 区九龙山路1号 (72)发明人 王浏杰　薛函迎　柴云川　郭卫斌　 (74)专利代理机构 南京君陶专利商标代理有限 公司 32215 专利代理师 李国政 (51)Int.Cl. F27D 17/00 (2006.01) F27D 13/00 (2006.01) F27D 7/06 (2006.01) 权利要求书3页 说明书7页 附图4页 (54)发明名称 一种应用于极紫外光刻机的吸气材料及其 制备方法 (57)摘要 本发明涉及真空获得维持技术领域，具体为 一种应用于极紫外光刻机的吸气材料及其制备 方法，本发明要解决的技术问题为：现有的吸气 材料在生产工程中，真空烧结的工艺在烧结吸气 材料时，无法将多余的热量进行余热回收利用， 技术方案为：包括主体机构，所述烧结热回收机 构包括烧结单元，所述打捞处理机构还包括热回 收单元，本发明的有益效果为：本发明利余热回 收单元，能够在余热回收单元的作用下，方便使 用者对吸气材料在烧结时产生的热量进行回收， 从而使得回收的热量能够对未烧结的原材料进 A 行加热，减少了吸气材料在烧结时的时间，同时 1 增加了吸气材料在烧结时的