一种涂胶显影机晶圆检测定位装置2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220821493 U (45)授权公告日 2024.04.19 (21)申请号 202322519817.7 G01C 15/02 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01) (22)申请日 2023.09.15 (73)专利权人 南方华创半导体（无锡）有限公司 地址 214000 江苏省无锡市滨湖区锦溪路 99号江大科技园3号楼102-54室 (72)发明人 张军区　叶挺　 (74)专利代理机构 无锡三谷高智知识产权代理 事务所(普通合伙) 32569 专利代理师 郑亚东 (51)Int.Cl. H01L 21/67 (2006.01) G01N 21/01 (2006.01) G01N 21/88 (2006.01) G01N 21/95 (2006.01) G01B 11/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)实用新型名称 一种涂胶显影机晶圆检测定位装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种涂胶显影机晶圆检 测定位装置，装置包括用于晶圆进行连续传输的 传输架和用于对晶圆进行瑕疵检测的检测台，传 输架由若干支脚支撑，检测台设置在传输架底 部，检测台上设有用于对待产出的晶圆进行升降 检测的升降承载机构和用于对晶圆表面瑕疵进