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发明

一种多功能真空实验设备及使用方法

2023-04-28 09:40:35 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202111502637.7
  • 公开（公告）日：2024-06-25
  • 公开（公告）号：CN114164401A
  • 申请人：沈阳工业大学
摘要：本发明涉及真空实验装置技术领域，具体涉及一种多功能真空实验设备及使用方法，整个系统能完成电阻加热蒸发法制备纳米粉及镀膜、磁控溅射法进行金属镀膜、进行辉光放电和BET法测粉体比表面积，并可在生成室内部进行红外测温和热电偶测温等。生成室表面设有四个观察窗和多个阀门可进行多种辅助测量；真空系统还连接有一个圆柱状金属检漏台，可进行不同材料真空检漏实验。生成室连接真空机组、水箱和电源系统。本发明设计合理，结构新颖，方便教学和演示，操作简单，功能性强，能同时进行多种与真空有关的测量和检测，是涉及多种先进方法的演示和实验相结合的仪器，便于推广。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114164401 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202111502637.7 G01N 15/08 (2006.01) G09B 25/00 (2006.01) (22)申请日 2021.12.09 (71)申请人 沈阳工业大学 地址 110870 辽宁省沈阳市铁西区经济技 术开发区沈辽西路111号 (72)发明人 李志杰　白冰　赵丹娜　李仁俊　 包立夫　张洪伟　 (74)专利代理机构 沈阳智龙专利事务所(普通 合伙) 21115 代理人 宋铁军 (51)Int.Cl. C23C 14/26 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) G01D 21/02 (2006.01) G01M 3/26 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种多功能真空实验设备及使用方法 (57)摘要 本发明涉及真空实验装置技术领域，具体涉 及一种多功能真空实验设备及使用方法，整个系 统能完成电阻加热蒸发法制备纳米粉及镀膜、磁 控溅射法进行金属镀膜、进行辉光放电和BET法 测粉体比表面积，并可在生成室内部进行红外测 温和热电偶测温等。生成室表面设有四个观察

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