具有电气背板的气体输送系统

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113217818 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 202110083651.1 (51)Int.Cl. F17D 1/04 (2006.01) (22)申请日 2021.01.21 F17D 3/01 (2006.01) (30)优先权数据 62/963,880 2020.01.21 US 17/090,019 2020.11.05 US (71)申请人 株式会社堀场STEC 地址 日本京都府 (72)发明人 爱德华 ·科西亚迪弗罗　 约翰 ·迪克　威廉姆 ·W ·怀特　 马克西米利安 ·冈德拉赫　 帕特里克 ·劳瑞　 (74)专利代理机构 北京信慧永光知识产权代理 有限责任公司 11290 代理人 曹正建　邓珍 权利要求书4页 说明书20页 附图18页 (54)发明名称 具有电气背板的气体输送系统 (57)摘要 本公开提供了一种气体输送系统，所述气体 输送系统包括：电气背板；可操作地耦合到所述 电气背板的系统控制器；和多个质量流量控制 器。各个所述的质量流量控制器包括可操作地耦 合到所述电气背板的各自的质量流量控制电路。 所述系统控制器