一种稀土掺杂IZO靶材的制备方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117088678 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202310985963.0 C04B 35/64 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01) (22)申请日 2023.08.07 C23C 14/34 (2006.01) (71)申请人 芜湖映日科技股份有限公司 地址 241000 安徽省芜湖市(安徽) 自由贸 易试验区芜湖片区衡山路南侧、凤鸣 湖北路西侧1#厂房 (72)发明人 王志强　曾墩风　曾探　陈光园　 (74)专利代理机构 南京正联知识产权代理有限 公司 32243 专利代理师 杨静 (51)Int.Cl. C04B 35/01 (2006.01) C04B 35/622 (2006.01) C04B 35/626 (2006.01) C04B 35/63 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 (54)发明名称 一种稀土掺杂IZO靶材的制备方法 (57)摘要 本发明涉及靶材技术领域，具体涉及一种稀 土掺杂IZO靶材及其制备方法，该制备方法包括 原料选择、一次球磨、二次球磨、喷雾造粒、压制 成型和高温烧