一种半导体废气处理设备进气口的新型自吸气防堵装置

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114321540 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111675072.2 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人 上海高生集成电路设备有限公司 地址 200000 上海市浦东新区康桥路957号 12幢4层 (72)发明人 崔汉博　崔汉宽　 (74)专利代理机构 上海老虎专利代理事务所 (普通合伙) 31434 代理人 葛瑛 (51)Int.Cl. F16L 41/03 (2006.01) F16L 55/24 (2006.01) F17D 3/01 (2006.01) F17D 3/12 (2006.01) B08B 9/027 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图6页 (54)发明名称 一种半导体废气处理设备进气口的新型自 吸气防堵装置 (57)摘要 本发明公开了一种半导体废气处理设备进 气口的新型自吸气防堵装置，包括自吸气式进气 管，自吸气式进气管包括位于上方的上管体和位 于下方的下管体，上管体与下管体之间通过螺栓 固定且两者的连接处形成有缓冲腔道，上管体的 两侧对称开设有导入口一、导入口二，导入口一 内置有气压传感器，下管体的一侧开设有导入口 三，缓冲腔道的内部活动设置有旋转内环，旋转 内环的正上方设置有上环，上环活动安装于上管 体的顶部且与旋转内环之间垂直安装有四组清