1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 机械工程/照明/加热/武器/爆破
PCT发明

晶圆盒的气帘装置2026

2024-04-21 07:42:37 发布于四川 2
  • 申请专利号：CN202280017953.1
  • 公开（公告）日：2026-10-09
  • 公开（公告）号：CN117916533A
  • 申请人：霭崴科技股份有限公司|||陈郁华
摘要：一种晶圆盒的气帘装置，具有一壳体，而壳体具有一内部空间，内部空间定义有一横向气室、一弯曲气室及一立向气室，至少一第一导气板设于横向气室及/或弯曲气室中，第一导气板设有复数个第一导气孔，一第二导气板设于立向气室，第二导气板设有复数个第二导气孔。本发明提供的晶圆盒的气帘装置，其可使洁净干燥气体以接近层流方式吹出，最大化减少紊流的形成，以避免设备前端模块内流动气体中水气、微尘等反而被卷入晶圆盒中。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117916533 A (43)申请公布日 2024.04.19 (21)申请号 202280017953.1 (51)Int.Cl . F24F 9/00 (2006.01) (22)申请日 2022.08.18 H01L 21/67 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H01L 21/02 (2006.01) 2023.08.30 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2022/075133 2022.08.18 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2024/039403 EN 2024.02.22 (71)申请人 霭崴科技股份有限公司 地址 中国台湾台中市 申请人 鈊拓科技股份有限公司　陈郁华 (72)发明人 陈金柏　黄灿华　许顺益　许自宏　 (74)专利代理机构 北京北新智诚知识产权代理 有限公司 11100 专利代理师 刘利鹏 权利要求书1页 说明书5页 附图8页 (54)发明名称 晶圆盒的气帘装置 (57)摘要 一种晶圆盒的气帘装置，具有一壳体，而壳 体具有一内部

最新专利

相关专利