原子层沉积设备和原子层沉积设备的定温定量输气装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288264 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202211038702.X (22)申请日 2022.08.29 (71)申请人 厦门韫茂科技有限公司 地址 361000 福建省厦门市软件园三期集 美大道1300号创新大厦6楼之四十一 (72)发明人 赵茂生　雷志佳　 (74)专利代理机构 厦门智慧呈睿知识产权代理 事务所(普通合伙) 35222 专利代理师 王玮婷 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图11页 (54)发明名称 原子层沉积设备和原子层沉积设备的定温 定量输气装置 (57)摘要 本发明提供了原子层沉积设备和原子层沉 积设备的定温定量输气装置，涉及原子层沉积技 术领域。定温定量输气装置包含第一输气组件、 至少一个第二输气组件、第一控温组件、第二控 温组件。包括用以连通反应腔的出气管。第二输 气组件包括定量腔室、第一进气管、用以连通定 量腔室和出气管的第一阀门，以及用以连通第一 进气管和定量腔室的第二阀门。第一进气管用以 连通源瓶。第一控温组件构造为能够套置于源 瓶，用以控制源瓶的温度。第二控温组件，其构造 为配置于所述出气管和所述第二输气组件，用以 A 控制所述出气管和所述第二输气组件内的反应 4 源的温度。定温定量输气装置能够定量定温的向 6 2 8 反应腔中输送反应气体，提高了原子层沉积的质 8 2