一种金刚石氮化铝基复合材料及其制备方法2024
- 申请专利号:CN202310986131.0
- 公开(公告)日:2024-06-14
- 公开(公告)号:CN117004925A
- 申请人:深圳市博源碳晶科技有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117004925 A (43)申请公布日 2023.11.07 (21)申请号 202310986131.0 C23C 16/27 (2006.01) C22C 26/00 (2006.01) (22)申请日 2023.08.07 (71)申请人 深圳市博源碳晶科技有限公司 地址 518055 广东省深圳市南山区桃源街 道平山社区平山一路北桑泰丹华园二 期4-09D (72)发明人 陈旺寿 郭悦 (74)专利代理机构 北京格允知识产权代理有限 公司 11609 专利代理师 刘晓 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/34 (2006.01) B22F 10/28 (2021.01) C23C 16/50 (2006.01) 权利要求书2页 说明书10页 (54)发明名称 一种金刚石氮化铝基复合材料及其制备方 法 (57)摘要 本发明涉及一种金刚石氮化铝基复合材料 及其制备方法。所述方法包括 :通过电感耦合等 离子体法或阳极层离子源照射方式对金刚石粉 末进行处理,得到粗糙化金刚石粉末;通过等离 子体增强原子层沉积方法在所述粗糙化金刚石 粉末的表面制备第一镀覆层,然后通过化学气相 沉积方法