一种硅片花篮微波烘干设备2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220818289 U (45)授权公告日 2024.04.19 (21)申请号 202322659150.0 F26B 23/08 (2006.01) (22)申请日 2023.09.30 (73)专利权人 扬州全能光伏科技有限公司 地址 225008 江苏省扬州市邗江区西湖镇 科技园路西侧 (72)发明人 朱守权　 (74)专利代理机构 扬州市锦江专利事务所 32106 专利代理师 江平 (51)Int.Cl. F26B 9/06 (2006.01) F26B 25/00 (2006.01) F26B 25/18 (2006.01) F26B 25/02 (2006.01) F26B 25/12 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 (54)实用新型名称 一种硅片花篮微波烘干设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种硅片花篮微波烘干 设备，包括桌板，桌板的底面固定安装有多个支 撑腿，桌板的顶面固定安装有安装板，本实用新 型涉及硅片生产技术领域。该硅片花篮微波烘干 设备，通过设置的输送机构，可以对硅片进行快 速换装，将硅片放置在硅片花篮本体的内部，接 着启动匀速电机带动主动轴通过输送带带动硅 片花篮本体使硅片进入到烘干箱的内部然后关 闭匀速电机，让烘干箱对其进行烘干，关闭匀速 电机的同时输送带也会停