一种氦气分装回收纯化工艺

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114484267 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210112367.7 (22)申请日 2022.01.29 (71)申请人 山东简森能源科技有限公司 地址 261061 山东省潍坊市高新区新钢街 道钢城社区双羊街177号 (72)发明人 宫钦红　杨勇　刘冬军　 (51)Int.Cl. F17C 5/06 (2006.01) F17C 9/02 (2006.01) F17C 13/00 (2006.01) C01B 23/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 一种氦气分装回收纯化工艺 (57)摘要 本发明属于特种气体技术领域，尤其是涉及 一种氦气分装回收纯化工艺，包括高纯氦分装工 艺、工业氦回收工艺、工业氦纯化工艺和超纯氦 分装工艺，高纯氦分装工艺是将液氦罐箱内的氦 气导出换热成为常温氦气，然后缓冲、加压和过 滤，进行高纯氦气充装，工业氦回收工艺是将氦 气分装纯化工艺所副产工业氦气体收集到工业 氦气囊中，然后加压、过滤和干燥，进行工业氦气 充装；工业氦纯化工艺是将工业氦气囊中的工业 氦干燥，然后加压、过滤和干燥，经纯化形成高纯 氦；超纯氦分装工艺是将高纯氦气经过纯化形成 超纯氦，然后充装超纯氦气瓶。本发明对副产工 A 业氦进行回收利用和纯化，可进行超纯氦充装， 7 充分利用氦气资源。 6 2 4 8 4 4 1 1 N C CN 1144