一种蚀刻后清洗液2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117903887 A (43)申请公布日 2024.04.19 (21)申请号 202311673190.9 C11D 7/30 (2006.01) C11D 7/28 (2006.01) (22)申请日 2023.12.07 C11D 7/34 (2006.01) (71)申请人 湖北兴福电子材料股份有限公司 C11D 11/00 (2006.01) 地址 443007 湖北省宜昌市猇亭区猇亭大 道66-3号 (72)发明人 吴政　叶瑞　贺兆波　王亮　谢建　 陈小超　罗海燕　刘春丽　 (74)专利代理机构 宜昌市三峡专利事务所 42103 专利代理师 成钢 (51)Int.Cl. C11D 7/08 (2006.01) C11D 7/32 (2006.01) C11D 7/26 (2006.01) C11D 7/10 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 (54)发明名称 一种蚀刻后清洗液 (57)摘要 本发明公开了一种蚀刻后清洗液，主要应用 于铜互连后段清洗，能有效去除干法蚀刻残留物 或灰化后残留