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PCT发明

保护罩以及等离子体产生装置

2023-08-31 08:34:46 发布于四川 3
  • 申请专利号：CN202180086467.0
  • 公开（公告）日：2023-08-29
  • 公开（公告）号：CN116671258A
  • 申请人：株式会社富士
摘要：本发明提供一种保护罩，以将喷出等离子体的等离子体喷头的喷出口封闭的状态保护等离子体喷头，具备：主体，其能装卸地支承于等离子体喷头；以及紧贴体，其以变形的状态紧贴于喷出口来封闭喷出口。本发明还提供一种等离子体产生装置，具备：等离子体喷头，其供保护罩安装；检测传感器，其对供给至等离子体喷头的气体的压力进行检测；以及通知装置，在保护罩的紧贴体封闭喷出口的状态下等离子体喷头工作的情况下，通知装置基于检测传感器的检测值来通知错误。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116671258 A (43)申请公布日 2023.08.29 (21)申请号 202180086467.0 (51)Int.Cl . H05H 1/30 (2006.01) (22)申请日 2021.01.08 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2023.06.21 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2021/000465 2021.01.08 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2022/149258 JA 2022.07.14 (71)申请人 株式会社富士 地址 日本国爱知县 (72)发明人 池户俊之　岩田卓也　 (74)专利代理机构 北京汇思诚业知识产权代理 有限公司 11444 专利代理师 张黎　龚敏 权利要求书1页 说明书7页 附图10页 (54)发明名称 保护罩以及等离子体产生装置 (57)摘要 本发明提供一种保护罩，以将喷出等离子体 的等离子体喷头的喷出口封闭的状态保护等离 子体喷头，具备：主体，其能装卸地支承于等离子 体喷头；以及紧贴体，其以变形的状态紧贴于喷 出口来封闭喷出口。本发明还提供一种等离子体 产生装置 ，具备 ：等离子体喷头，其供保护罩安 装；检测传感器，其对供给至等离子体喷头的气 体的压力进行检测；以及通知装置，在保护罩的 紧

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