保护罩以及等离子体产生装置
- 申请专利号:CN202180086467.0
- 公开(公告)日:2023-08-29
- 公开(公告)号:CN116671258A
- 申请人:株式会社富士
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116671258 A (43)申请公布日 2023.08.29 (21)申请号 202180086467.0 (51)Int.Cl . H05H 1/30 (2006.01) (22)申请日 2021.01.08 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2023.06.21 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2021/000465 2021.01.08 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2022/149258 JA 2022.07.14 (71)申请人 株式会社富士 地址 日本国爱知县 (72)发明人 池户俊之 岩田卓也 (74)专利代理机构 北京汇思诚业知识产权代理 有限公司 11444 专利代理师 张黎 龚敏 权利要求书1页 说明书7页 附图10页 (54)发明名称 保护罩以及等离子体产生装置 (57)摘要 本发明提供一种保护罩,以将喷出等离子体 的等离子体喷头的喷出口封闭的状态保护等离 子体喷头,具备:主体,其能装卸地支承于等离子 体喷头;以及紧贴体,其以变形的状态紧贴于喷 出口来封闭喷出口。本发明还提供一种等离子体 产生装置 ,具备 :等离子体喷头,其供保护罩安 装;检测传感器,其对供给至等离子体喷头的气 体的压力进行检测;以及通知装置,在保护罩的 紧
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