一种耐强碱洗净的镀膜及镀膜方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116695073 A (43)申请公布日 2023.09.05 (21)申请号 202310155188.6 (22)申请日 2023.02.23 (71)申请人 徐州联超光电科技有限公司 地址 221000 江苏省徐州市丰县经济开发 区智能终端产业园二期C1、C3栋 (72)发明人 郭芳伟　 (74)专利代理机构 苏州企航知识产权代理事务 所(普通合伙) 32354 专利代理师 朱丹 (51)Int.Cl. C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/10 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01) C23C 14/18 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图8页 (54)发明名称 一种耐强碱洗净的镀膜及镀膜方法 (57)摘要 本发明提出了一种耐强碱洗净的镀膜，包括 玻璃基板，所述玻璃基板上依次设有二氧化硅镀 层、五氧化三钛、二氧化硅镀层、五氧化三钛、二 氧化硅镀层、五氧化三钛、二氧化硅、镧系材料镀 层、二氧化硅、镧系材料镀层，其镀膜方法包括： S1:提供玻璃基材 ；S2 ：将镀膜溅射机抽真空至 5.00*10‑3PA；S3：材料预融，在腔体内固定三组 阴极靶材，取固体五氧化三钛通过设置设备电流 强度为440MA预融加热至液体，取固体粉末形态 的镧系材料配合二氧化钛靶和五氧