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发明

一种信息组件及晶圆盒

2023-08-06 07:20:56 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202310491039.7
  • 公开（公告）日：2023-11-28
  • 公开（公告）号：CN116544142A
  • 申请人：北京鑫跃微半导体技术有限公司|||芜湖鑫跃微半导体有限公司
摘要：本申请公开了一种信息组件及晶圆盒，信息组件应用于晶圆盒，晶圆盒包括盒体，信息组件包括：主体以及限位结构，主体具有第一端以及与第一端相对设置的第二端，第一端以及第二端均用于与晶圆盒的盒体连接；主体上设置有位于第一端以及第二端之间的限位结构，限位结构用于与盒体连接。本申请实施例通过增加信息组件的主体与盒体之间的连接部位，以加强信息组件与盒体之间的连接，使得信息组件与盒体之间的固定更牢固，从而增加信息组件的稳定性，防止信息组件在外力的按压或冲击下发生晃动或移位，减少外部设备与信息组件之间发生信息互换错误的问题。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116544144 A (43)申请公布日 2023.08.04 (21)申请号 202310549654.9 (22)申请日 2023.05.16 (71)申请人 江苏亚电科技有限公司 地址 225500 江苏省泰州市姜堰区三水街 道科技大道151号 (72)发明人 钱诚　童建　段彬彬　 (74)专利代理机构 北京商专润文专利代理事务 所(普通合伙) 11317 专利代理师 陈平 (51)Int.Cl. H01L 21/67 (2006.01) H01L 21/687 (2006.01) F26B 21/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 (54)发明名称 具有喷气功能的晶圆清洗干燥升降机构 (57)摘要 本申请涉及一种具有喷气功能的晶圆清洗 干燥升降机构，属于晶圆制造设备技术领域。在 具有喷气功能的晶圆清洗干燥升降机构中，动力 组件驱动晶圆篮支撑座和晶圆支撑座做相对运 动，喷气口设置于晶圆支撑座上，当晶圆支撑座 升高到最顶端而将晶圆置于盖体内时，喷气口处 于能够离盖体内的晶圆较近的位置，干燥气体能 够直接喷吹到晶圆上，提高晶圆的干燥效率和相 同时间下的干燥效果。 A 4 4 1 4 4 5 6 1 1 N C CN 116544144 A 权　利　要　求　书 1

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