一种基板装载治具及镀膜装置2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116970914 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202210432157.6 (22)申请日 2022.04.22 (71)申请人 光驰科技（上海）有限公司 地址 200436 上海市宝山区宝山城市工业 园区城银路267，297号 (72)发明人 杨启忠　戴晓东　马淑莹　卢鹏　 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 李林 (51)Int.Cl. C23C 14/50 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)发明名称 一种基板装载治具及镀膜装置 (57)摘要 本发明涉及薄膜制备技术领域，公开一种基 板装载治具及镀膜装置。其中基板装载治具包括 母装载台和子装载台，子装载台包括边框和设置 于边框上的放置面，边框置于母装载台上，边框 与母装载台可拆卸连接，放置面设置有预设曲 度，放置面用于承载与其曲度适配的基板。本发 明子装载台的放置面设置有预设曲度，用于放置 与其曲度适配的基板，进而用于对具有预设曲度 的基板的镀膜，而不会改变靶基距，也不会对镀 膜的工艺造成影响；子装载台的边框与母装载台 可拆卸连接，通过在母装载台更换具有不同预设 曲度的子装载台，实现一个母装载台对不同曲度 A 的基板的兼容装载，更大化的利用了母装载台的 4 价值，有效地节省了基板装载治具的成本。 1 9 0