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发明

基于TOPCon电池的SE后硼扩湿氧工艺2023

2023-12-08 07:12:28 发布于四川 9
  • 申请专利号：CN202311084453.2
  • 公开（公告）日：2023-12-01
  • 公开（公告）号：CN117153937A
  • 申请人：湖南红太阳光电科技有限公司
摘要：本发明公开了一种基于TOPCon电池的SE后硼扩湿氧工艺，包括以下步骤：将制绒后硅片放入炉管内，温度为780～800℃；抽真空并升温至810～830℃；检漏；升温，通O2和N2氧化，压力升至800mbar；再升温，通O2和N2氧化；升温至1000～1020℃，通O2和N2氧化；通N2、O2以及携带水汽的N2氧化；仅通O2和N2氧化；降温至900℃，保持O2和N2通入；降温至870℃，保持O2和N2通入；降温至860℃，关O2通入N2；破真空，取硅片，工艺结束。本发明的工艺具有降低工艺峰值温度、缩短氧化推进步时间、大幅延长设备使用寿命、提升设备产能、降低设备维护成本等优点。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117153937 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202311084453.2 (22)申请日 2023.08.25 (71)申请人 湖南红太阳光电科技有限公司 地址 410205 湖南省长沙市高新区麓谷街 道东方红中路559号 (72)发明人 郭良全　谢成　赵志然　龙辉　 周天昊　郭艳　 (74)专利代理机构 湖南兆弘专利事务所(普通 合伙) 43008 专利代理师 黄丽 (51)Int.Cl. H01L 31/18 (2006.01) H01L 21/225 (2006.01) C30B 33/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图1页 (54)发明名称 基于TOPCon电池的SE后硼扩湿氧工艺 (57)摘要 本发明公开了一种基于TOPCon电池的SE后 硼扩湿氧工艺，包括以下步骤：将制绒后硅片放 入炉管内，温度为780 ～800℃；抽真空并升温至 810 ～830℃；检漏；升温，通O 和N 氧化，压力升 2 2 至800mbar；再升温，通O 和N 氧化；升温至1000 2 2 ～1020℃，通O 和N 氧化；通N 、O 以及携带水汽 2 2 2 2 的N

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