基板支撑单元
- 申请专利号:CN202210197770.4
- 公开(公告)日:2024-07-23
- 公开(公告)号:CN114657541A
- 申请人:ASMIP私人控股有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114657541 A (43)申请公布日 2022.06.24 (21)申请号 202210197770.4 C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01) (22)申请日 2019.09.11 (30)优先权数据 10-2018-0108523 2018.09.11 KR (62)分案原申请数据 201910857144.1 2019.09.11 (71)申请人 ASM IP私人控股有限公司 地址 荷兰阿尔梅勒 (72)发明人 严基喆 韩政勋 金头汉 韩镕圭 柳太熙 林完奎 高东铉 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 专利代理师 王冉 (51)Int.Cl. C23C 16/458 (2006.01) 权利要求书2页 说明书14页 附图10页 (54)发明名称 基板支撑单元 (57)摘要 一种基板支撑单元,在该基板支撑单元中, 基板安置在上部上,该基板支撑单元包括:加热 器;射频电极;连接到加热器的第一杆;连接到射 频电极的第二杆;射频屏蔽,该射频屏蔽与第二 杆间隔开,以在所述射频屏蔽和所述第二杆之间 具有空间,所述射频屏蔽设置为围绕第二杆,并 沿第二杆的延伸方向延伸;以及第一绝缘构件, 所述第一绝缘构件设置在所述空间内,所述第一