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发明

基板支撑单元

2023-05-14 11:57:03 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202210197770.4
  • 公开（公告）日：2024-07-23
  • 公开（公告）号：CN114657541A
  • 申请人：ASMIP私人控股有限公司
摘要：一种基板支撑单元，在该基板支撑单元中，基板安置在上部上，该基板支撑单元包括：加热器；射频电极；连接到加热器的第一杆；连接到射频电极的第二杆；射频屏蔽，该射频屏蔽与第二杆间隔开，以在所述射频屏蔽和所述第二杆之间具有空间，所述射频屏蔽设置为围绕第二杆，并沿第二杆的延伸方向延伸；以及第一绝缘构件，所述第一绝缘构件设置在所述空间内，所述第一绝缘构件被构造成固定所述第二杆和所述射频屏蔽之间的相对位置关系，其中，所述射频屏蔽包括连接到地的金属材料，且其中，所述金属材料被构造成防止通过所述第二杆流到所述第一杆的RF电流的串扰效果。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114657541 A (43)申请公布日 2022.06.24 (21)申请号 202210197770.4 C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01) (22)申请日 2019.09.11 (30)优先权数据 10-2018-0108523 2018.09.11 KR (62)分案原申请数据 201910857144.1 2019.09.11 (71)申请人 ASM IP私人控股有限公司 地址 荷兰阿尔梅勒 (72)发明人 严基喆　韩政勋　金头汉　韩镕圭　 柳太熙　林完奎　高东铉　 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 专利代理师 王冉 (51)Int.Cl. C23C 16/458 (2006.01) 权利要求书2页 说明书14页 附图10页 (54)发明名称 基板支撑单元 (57)摘要 一种基板支撑单元，在该基板支撑单元中， 基板安置在上部上，该基板支撑单元包括：加热 器；射频电极；连接到加热器的第一杆；连接到射 频电极的第二杆；射频屏蔽，该射频屏蔽与第二 杆间隔开，以在所述射频屏蔽和所述第二杆之间 具有空间，所述射频屏蔽设置为围绕第二杆，并 沿第二杆的延伸方向延伸；以及第一绝缘构件， 所述第一绝缘构件设置在所述空间内，所述第一

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