一种具有正负双极性响应特性的光电探测器及其制备方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117747696 A (43)申请公布日 2024.03.22 (21)申请号 202311791827.4 (22)申请日 2023.12.22 (71)申请人 齐鲁工业大学（山东省科学院） 地址 250353 山东省济南市长清区大学路 3501号 (72)发明人 李奎龙　杜昶辉　王文佳　李佩佩　 高红蕾　 (74)专利代理机构 济南圣达知识产权代理有限 公司 37221 专利代理师 惠庆玲 (51)Int.Cl. H01L 31/113 (2006.01) H01L 31/032 (2006.01) H01L 31/0336 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 一种具有正负双极性响应特性的光电探测 器及其制备方法 (57)摘要 本发明属于光电探测技术领域，具体涉及一 种具有正负双极性响应特性的光电探测器及其 制备方法，包括基底以及设置在所述基底上的二 硫化铼/二硒化钯范德华异质结；所述光电探测 器的源极和漏极设置在二硒化钯长度方向的两 端，栅极设置在远离所述二硫化铼/二硒化钯范 德华异质结的基底侧一侧；将二硫化铼作为光栅 控制层，将二硒化钯作为载流子传输层，通过调 节栅极电压实现光电探测器的正响应与负响应 转换；当栅极电压不超过栅极电压阈值时，光电 探测器