一种等离子制作石英板的方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117756378 A (43)申请公布日 2024.03.26 (21)申请号 202311789958.9 (22)申请日 2023.12.22 (71)申请人 久智光电子材料科技有限公司 地址 065000 河北省廊坊市廊坊开发区华 祥路 申请人 天津富通信息科技股份有限公司 (72)发明人 张超　 (74)专利代理机构 北京鼎拓恒远知识产权代理 事务所(普通合伙) 16098 专利代理师 任小鹏 (51)Int.Cl. C03B 19/01 (2006.01) C03B 20/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图2页 (54)发明名称 一种等离子制作石英板的方法 (57)摘要 本申请提供一种等离子制作石英板的方法， 包括如下步骤：将石英母板固定在加工设备上， 加工设备包括下料机，下料机用于向石英母板喷 射石英砂；控制石英砂经过等离子火焰喷射到石 英母板上；控制石英母板沿第一方向移动和下料 机沿第三方向移动，实现第一层的铺设；控制石 英母板按照第二预设值沿第二方向移动，以控制 下料机与石英母板之间的距离；重复上述步骤， 实现多层的铺设，直至铺设到石英板的指定厚 度；通过上述结构使得，采用高频等离子技术制 备石英板，制作出的石英板具有纯度较高、外观 好、耐高温性和羟基小等优点，可满足高端领域 A 或特殊设备上使用，以满足多种客户的需求。 8 7 3 6 5