一种高频声波谐振器及其制备方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116781033 A (43)申请公布日 2023.09.19 (21)申请号 202310678398.3 H03H 3/02 (2006.01) (22)申请日 2023.06.08 (71)申请人 中国科学院上海微系统与信息技术 研究所 地址 200050 上海市长宁区长宁路865号 (72)发明人 欧欣　吴进波　张师斌　张丽萍　 姚虎林　 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 郑华洁 (51)Int.Cl. H03H 9/17 (2006.01) H03H 9/13 (2006.01) H03H 9/05 (2006.01) H03H 9/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图6页 (54)发明名称 一种高频声波谐振器及其制备方法 (57)摘要 本发明涉及微电子器件领域，特别涉及一种 高频声波谐振器及其制备方法。该高频声波谐振 器包括由下至上依次层叠的支撑衬底、压电薄膜 和叉指换能器；其中，支撑衬底的声速不低于 5000米/秒；高频声波谐振器的目标模式是由纵 向电场激励产生的准体波模式；叉指换能器的厚 度与叉指换能器的材料密度呈反比 ；目标模式的 声速小于支撑衬底的声速。基于异质集成衬底， 在简化声波谐振器结构的同时 ，降低欧姆损耗，