MPCVD在线调节等离子体球位置的设备及方法2025

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117448795 A (43)申请公布日 2024.01.26 (21)申请号 202311408900.5 (22)申请日 2023.10.27 (71)申请人 上海铂世光半导体科技有限公司 地址 201707 上海市青浦区新科路303号1 幢 (72)发明人 张俊生　胡常青　井上英男　 (74)专利代理机构 上海邦德专利代理事务所 (普通合伙) 31312 专利代理师 梁剑 (51)Int.Cl. C23C 16/511 (2006.01) C23C 16/27 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图2页 (54)发明名称 MPCVD在线调节等离子体球位置的设备及方 法 (57)摘要 本发明提出了一种MPCVD在线调节等离子体 球位置的设备及方法，该设备包括底板；外壳其 下端面固定于底板，其顶部开设气孔；内腔壳用 于生成等离子体球并调节等离子体球的位置，其 位于外壳内，其下端面抵住底板并可沿着底板移 动，内腔壳与外壳、底板共同围成供气体流动的 夹层空间，其包括依次连通的上腔体和中腔体； 下腔体用于将微波馈入中腔体，其位于中腔体 内，其由圆环状石英微波窗口和水冷平台围成； 腔外调节机构，用于调节内腔壳在外壳中的位 置，其固定于外壳的外壁，其输出端穿过外壳并 A 固定于内腔壳，其输出端可带动内腔壳水平移 5 动。本发明可随时调节内腔的中心位置，使等离 9 7 8 子球位于样品台正中间。